產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：凈化型勻膠機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CY-SPC4-SS-JH
  • 產(chǎn)品廠商：成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
凈化型勻膠機(jī)廣泛用于半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等，例如對(duì)大型晶圓、芯片、晶片等進(jìn)行工藝制版時(shí)，可用此設(shè)備進(jìn)行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠； 是集成電路及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中涂覆勻膠的專用設(shè)備?。該設(shè)備中涂膠部分含有兩個(gè)工位的勻膠臺(tái)，可分別獨(dú)立工作，也可兩臺(tái)同時(shí)工作。
詳情介紹：

設(shè)備特點(diǎn)：

1、帶有100級(jí)空氣凈化裝置，可有效除去勻膠臺(tái)周圍空氣中的污染微塵，防止

   勻膠過程中的雜質(zhì)污染。

2、 設(shè)置有LED照明燈，可程控照明，非常方便日常操作。

3、可設(shè)置時(shí)間--轉(zhuǎn)速曲線，程序控制勻膠工藝

4、7英寸液晶顯示屏，操作簡(jiǎn)單易學(xué)無需專業(yè)學(xué)習(xí)

主要技術(shù)參數(shù)：

勻膠時(shí)間

1-99秒 

勻膠轉(zhuǎn)數(shù)

0-8000轉(zhuǎn)/分

操作區(qū)風(fēng)速

0.3-0.5米/秒(有效操作區(qū)氣流狀態(tài)：垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠

凈化效果

100級(jí)（美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)）

外形尺寸

650x750x1620mm 

外體顏色

亞白色

控制范圍和精度

轉(zhuǎn)速控制范圍為：500-8000轉(zhuǎn)，精度為±3%

時(shí)間控制范圍為

1-99秒，精度為±5%

轉(zhuǎn)速調(diào)整

采用PID調(diào)節(jié)，精度高

轉(zhuǎn)速查看智能化

可自動(dòng)識(shí)別哪個(gè)電機(jī)開或關(guān)，自動(dòng)轉(zhuǎn)換到開啟的電機(jī)上?？捎柘冗x定，也可在運(yùn)行中隨時(shí)查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速


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