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產品詳情
簡單介紹：
該區(qū)域提純爐主由：高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計、質量流量計、分子泵組、直線導軌、速度控制器等重要部件構成。區(qū)域提純爐廣泛用于半導體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。
詳情介紹：
該區(qū)域提純爐主要由：高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計、質量流量計、分子泵組、直線導軌、速度控制器等重要部件構成。廣泛用于半導體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。
主要技術參數：
工作溫度：1200℃
爐管長度：1200mm
爐管直徑：50mmm
爐管厚度：5mm
密封方式：不銹鋼真空法蘭
真空度：1.0X10E-3Pa
流量計類型：質量流量計
氣體流量：100SCCM、200SCCM、500SCCM
載料舟長度：200mm
移動速度：160mm/60min（可根據實際要求調節(jié)）
溫度控制：50段可編程控制
控制系統(tǒng)：全電腦程序控制
