產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：?jiǎn)伟械入x子濺射鍍膜儀（增強(qiáng)型）

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CY-PLZ180-I-DC-Q
  • 產(chǎn)品廠商：成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
本型號(hào)小型等離子濺射儀，采用二級(jí)濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗(yàn)。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過(guò)程中無(wú)高溫，不易產(chǎn)生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。本型號(hào)儀器還配有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，能夠有效的提升鍍膜的均勻性。（本設(shè)備配有旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái)，可以提升鍍膜的均勻性和薄膜的附著力）該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統(tǒng)，全部觸摸屏操作，便于學(xué)習(xí)使用。設(shè)備體積小巧造型美觀，是實(shí)驗(yàn)室鍍膜試驗(yàn)的*佳選擇。
詳情介紹：

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱

單靶等離子濺射鍍膜儀（增強(qiáng)型）

產(chǎn)品型號(hào)

CY-PLZ180-I-DC-Q

樣 品 臺(tái)

尺寸

100mm

旋轉(zhuǎn)速度

1~20rpm可調(diào)

加熱溫度

≤500℃            

控溫精度

±1℃   PID控溫 

等離子濺射靶

數(shù)量

2英寸x1

冷卻方式

水冷

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 300mm    

觀察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開(kāi)啟方式

頂蓋拆卸式

上下蓋材質(zhì)

304不銹鋼

抽氣接口

KF25

進(jìn)氣接口

1/4英寸卡套接頭

電源配置

數(shù)量

直流電源x1

輸出功率

*大150W

濺射電源

3000V

*大濺射電流

50mA

真空系統(tǒng)

真空泵類型

雙極旋片真空泵

抽氣接口

KF25

排氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s（4m3/h）

極限真空度

≥1Pa

真空測(cè)量

電阻真空規(guī)

其他

供電電源

AC 220V  50Hz

整機(jī)功率

2kW

整機(jī)尺寸

570mm X 450mm X550mm

整機(jī)重量

30kg


豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)