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簡單介紹：

產(chǎn)品特點(diǎn)：1.選擇多種氣體方式；2.304不銹鋼管芯，耐腐蝕；3.不銹鋼雙卡快速接頭，連接方便，無泄漏。

詳情介紹：

○ 適用范圍
1.半導(dǎo)體制造業(yè)
2.真空鍍膜設(shè)備
3.特殊材料表面處理
4.燃?xì)饪刂?/span>
5.泄漏檢測系統(tǒng)
6.環(huán)境檢測分析設(shè)備
7.化學(xué)，石化，冶金，光纖等

○ 產(chǎn)品特點(diǎn)
1.選擇多種氣體方式
2.304不銹鋼管芯，耐腐蝕
3.不銹鋼雙卡快速接頭，連接方便，無泄漏

○ 技術(shù)參數(shù)

功能	三路質(zhì)量流量計
質(zhì)子流量控制器	工作溫度：5~45 oC *大壓力: 3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費(fèi)用
輸入電源	AC 220V/50Hz單相
功率	150W
機(jī)械壓力表	有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
針閥	316 不銹鋼
通氣管道	內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管外部通氣管道為1/4”聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	316不銹鋼針閥 Φ1/4” 不銹鋼管
外形尺寸	600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，終身維護(hù)

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產(chǎn)品名稱：三路質(zhì)量流量計