產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號：CY-CVD1200-60-220×440×220-3TH-Q
  • 產(chǎn)品廠商：成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)由三溫區(qū)管式爐和三路浮子流量計組成。管式爐三個溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨立控溫，通過調(diào)節(jié)各個溫區(qū)的溫度，該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成三段溫度梯度或是形成較長的恒溫區(qū)域。1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)每個溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序，同時有過熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計和機(jī)械式壓力表，可以用來控制路管內(nèi)的氣氛環(huán)境。
詳情介紹：

1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)采用全彩高清觸控屏操作，簡單易上手，即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實驗效率。系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計，可以較為準(zhǔn)確的配制出實驗所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計正面，可以監(jiān)測氣體壓力及混合槽壓力。

適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。

1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

項目

明細(xì)

供電電壓

AC220V，50Hz

MAX功率

5KW

加熱溫區(qū)

220mm+440mm+220mm

工作溫度

1100℃ （1200℃＜1h）

控溫精度

±1℃

升溫速率

建議≤10℃/min

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條

三溫區(qū)獨立控制，帶有過熱和斷偶保護(hù)

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管尺寸

φ60mm O.D×1300mm L

氣體通道

三通道質(zhì)量流量計

氣體量程

A：100sccm   B：300sccm  C：500sccm

系統(tǒng)真空

5~10Pa（如需更高真空度可以選配其他的泵）

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