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該雙溫區(qū)真空管式爐不僅可以抽真空,也可以通保護(hù)性氣氛。開(kāi)啟式爐膛結(jié)構(gòu)有利于爐管拆卸和觀察物料裝載,操作簡(jiǎn)單。透明石英管腔體可以直觀的看到樣品的燒結(jié)狀態(tài)。本管式爐爐管水平穿過(guò)爐膛,加熱元件呈四周均勻分布,溫場(chǎng)均勻,爐管內(nèi)部和爐膛之間的內(nèi)外溫差可控制在3度左右。爐體設(shè)計(jì)有緩沖上蓋支撐結(jié)構(gòu)讓操作時(shí)可**開(kāi)啟。
該款雙溫區(qū)真空管式爐的組合主要適用于需要控制反應(yīng)濕度的CVD試驗(yàn)和反應(yīng)。
雙溫區(qū)管式爐技術(shù)參數(shù):
項(xiàng)目 |
明細(xì) |
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雙溫區(qū)管式爐 |
供電電壓 |
AC110V;60Hz |
工作溫度 |
≤1100℃ |
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加熱速率 |
建議10℃/min |
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熱電偶類型 |
B型熱電偶 |
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爐管尺寸 |
φ80(OD)×φ74(ID)×1000(L)mm |
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爐管材料 |
高純石英 |
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密封法蘭 |
帶有1/4英寸的氣體接口和真空接口 |
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加熱溫區(qū) |
200mm+200mm |
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溫度控制 |
1) PID全自動(dòng)控制加熱速率,冷卻速率以及保溫時(shí)間 2) PID控制超溫保護(hù)和短偶保護(hù) 3) 超溫保護(hù)在報(bào)警功能使該設(shè)備可在無(wú)人看管的情況下運(yùn)行 4) 溫度精度在±1℃(即顯示的溫度和實(shí)際溫度差) |
|
加熱元件 |
電爐絲 |
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蒸發(fā)器 |
容量 |
300mL |
加熱套工作溫度 |
≤250℃ |
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功能 |
有精密可編程溫度控制器控制; 容器上有兩個(gè)SS針閥和一個(gè)壓力表 |
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濕度監(jiān)測(cè)器 |
安裝方式 |
KF25適配器連接至加工管法蘭 |
測(cè)量范圍 |
0-100%RH,1.5%FS精度,或-60°~+60°DP |
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測(cè)量精度 |
±0.3° |
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使用方法 |
調(diào)節(jié)蒸發(fā)器水內(nèi)溫度和H2氣體流量以達(dá)到所需濕度水平 |
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三路防腐浮子流量計(jì) |
閥門(mén)類型 |
不銹鋼針閥 |
管道正常情況 |
關(guān)閉 |
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氣體方式 |
3通道 |
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連接尺寸 |
1/4” |
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壓力范圍 |
-0.1~0.15Mpa |
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管芯材質(zhì) |
304不銹鋼 |