產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：卷對(duì)卷式PECVD

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CY-OTF-1200X-II-PEC3-Q
  • 產(chǎn)品廠商：成越科儀
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
卷對(duì)卷式PECVD是等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積設(shè)備（PECVD），并加裝了收放卷裝置。本設(shè)備可用于線材的連續(xù)化熱處理工藝中，如碳纖維制備、合金及其他材料線材改性處理等應(yīng)用中。也適合用于石墨烯在卷材上的連續(xù)生長(zhǎng)。 設(shè)備含卷對(duì)卷收放卷運(yùn)動(dòng)模塊、1200℃雙溫區(qū)可開啟式管式爐模塊、PE等離子增強(qiáng)模塊、真空系統(tǒng)以及三路質(zhì)子流量計(jì)供氣系統(tǒng)五部分，整套體系可在真空/氣氛保護(hù)環(huán)境下工作。 收放卷機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)速?gòu)?~400mm/min可調(diào),機(jī)構(gòu)采用反饋調(diào)節(jié)，可自動(dòng)糾正轉(zhuǎn)速偏差，保證樣品的速度穩(wěn)定不走樣，從而保證了實(shí)驗(yàn)的**性
詳情介紹：

卷對(duì)卷式PECVD技術(shù)參數(shù)：

1200℃雙溫區(qū)管式爐

供電電壓

AC220V，50Hz

*大功率

3KW

加熱溫區(qū)

雙溫區(qū) 200mm+200mm

工作溫度

≤1200℃

控溫精度

±1℃

控溫方式

AI-PID 30段工藝曲線，可存儲(chǔ)多條

爐管材質(zhì)

高純石英

爐管尺寸

φ80mm I.D x 1400mm L

密封方式

不銹鋼真空法蘭

真空測(cè)量

電阻規(guī)

工作氣體

氫氣、氮?dú)?、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體

真空泵

雙極旋片式真空泵

極限真空度

10^-1Pa

三路質(zhì)量流量計(jì)

閥門類型

不銹鋼針閥

氣路數(shù)量

三路

承壓范圍

0.05~0.3MPa

量程

1~100 SCCM（Ar）

1~200 SCCM（H2）

1~500 SCCM (CH4)

流量控制范圍

±1.5%

混氣罐容積

750mL

氣路材料

304不銹鋼

管道接口

6.35mm卡套接頭

供電電源

AC220V 50Hz

S射頻電源

輸出功率

500W

輸出精度

±1%

射頻頻率

13.56MHz

射頻穩(wěn)定度

±0.005%

冷卻方式

風(fēng)冷

豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)