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超高純氫氣發(fā)生器運用先進且 **擁有的100% 鈦金屬質子交換膜(PEM) 技術, 將去離子水中的氫氣分離并提純,為CVD設備提 供超高純的氫氣氣源。
獨特的設計讓運行更加穩(wěn)定可靠,并保證更長的 使用壽命。發(fā)生器可24小時連續(xù)穩(wěn)定地工作,開 機時自動檢查內部泄漏,自動控制裝置的運行參 數(shù),保證**啟動。
觸摸屏LCD界面提供簡單且清晰可見的運行信息, 讓用戶便捷地掌控和管理發(fā)生器。
產品特點 :
鈀催化劑降低O2<0.01ppm,水分<1ppm,氫氣純度可達99.99999%(7N)
**冷雙動態(tài)再生干燥器:去除水分和氧 氣,無需監(jiān)控、更換和購買干燥劑筒,無需 加熱
通過USB進行遠程PC監(jiān)控和診斷分析,將設備與客戶的PC軟件連接(需要通過遠程連接,才能有效地進行檢查和維護)壓力高達11bar(160psi)
顯示水質狀態(tài):當水質變“**"時及時出現(xiàn)報警提示
聯(lián)機產氫:可以通過軟件控制實現(xiàn)多臺發(fā)生 器并聯(lián)產氫(集中供氣),提供穩(wěn)定的流量和壓力、自動分配氫氣,無需外接繁多的氣體 控制機件,為您降低投入成本
對部分重要部件具有獨立跟蹤檢測功能并及時提示,在確保正常運行的同時將零部件使 用時間*大化
型號及技術規(guī)格:
型號
流速
cc/min
純度
H2干燥系統(tǒng)
壓力
尺寸
(W x H x D)
應用
MF.H2.110
110
> 99.99999 %
(O2< 0.1 ppm,
露點< -75°C
)
自動再生干燥柱
(免維護)
11 bar
(160psi)
27 x 44 x 38 cm
GC載氣以及檢測器燃燒氣;
GC-MS 載氣
MF.H2.170
170
MF.H2.260
260
MF.H2.300
300
MF.H2.400
400
MF.H2.500
500
MF.H2.600
600
MF.H2.1000
1000
MF.H2.1200
1200
MF.H2.1350
1350
MD.H2.110
110
>99.9996 %
(O2<1 ppm,
露點< -55°C)
干燥劑筒
(手動更換)
7 bar
(101 psi)
27 x 44 x 38 cm
GC檢測器燃燒氣
MD.H2.170
170
MD.H2.260
260
MD.H2.300
300
MD.H2.400
400
MD.H2.500
500
MD.H2.600
600
MB.H2.110
110
>99.9996 %
(O2<1 ppm,
露點<-20°C)
特殊干燥膜
(免維護)
7 bar
(101psi)
27 x 44 x 38 cm
GC檢測器燃燒氣